簡要(yao)描述:AC200衍(yan)生機(顯影)全新外(wai)觀(guan)設計(ji),大氣,適(shi)配(pei)實驗(yan)室實驗(yan)操作,先進的設計(ji)理念,模塊(kuai)化設計(ji)。
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 化工,石油 |
AC200衍生機(顯影)介(jie)紹:
新外觀衍生機(ji)尺寸:680*550*450mm(三種機型(xing)尺寸一致)
包(bao)裝(zhuang)用木箱包(bao)裝(zhuang)
轉速范圍:20-10000rpm
加(jia)速度可(ke)調(diao)范(fan)圍(wei)20-50000rpm/s
單步時長:3000s
時間分辨率:0.1s
可(ke)編輯100組100步程序,更多(duo)可擴(kuo)展(zhan)
AC200衍生機(顯影)大體說明可參照樣本上的寫,配件可以放一些標準載物盤,真空泵的圖片
自動滴膠(jiao):
適用基片尺寸:小于1cm小(xiao)碎片及到8寸標準晶圓,非標準基片(pian)可定制載物盤
自動顯(xian)影(ying):
適用(yong)基(ji)片尺寸:4/6/8寸標(biao)準晶圓,非標(biao)準基片(pian)可定制載物(wu)盤
顯影噴嘴距離基片高度(du)可調,可調范圍10-50mm
自動去邊(bian):
適(shi)用基片尺寸(cun):4/6/8寸標準晶圓
去(qu)(qu)邊(bian)(bian)精度:去(qu)(qu)除晶(jing)圓邊(bian)(bian)緣3±0.5mm
三個基本(ben)功(gong)能(neng)可添加背(bei)洗功(gong)能(neng)(供客戶選擇)
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