設備的優點：

1、采用射頻電源(yuan)、自動匹配(pei)器(qi)，一鍵式操(cao)控。

2、低(di)溫等(deng)離(li)子體，能量低(di)、密度高(gao)，適合處理特(te)殊材料。

3、無環境污染(ran)、無化學品消耗。

4、可處理(li)形狀(zhuang)復雜的(de)(de)材料，材料表面處理(li)的(de)(de)均勻性(xing)好。

5、適用性廣，各(ge)種材料(liao)、形狀都(dou)可以處理(li)。

腔體材質  鋁合金

供電(dian)電(dian)源  AC220V、1000W

濺射電壓：MAX 2500V

濺射(she)電(dian)流(liu)：MAX 30mA

靶材(cai)尺寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm

電源功(gong)率  0-300W可調

射頻頻率  13.56MHz

真空度  ≤100Pa

氣(qi)體路(lu)數  2路(lu)

氣體流量(liang)  MFC氣體質量(liang)流量(liang)計   500SCCM（可調）

控制  觸屏

清洗時間  1-6000s連續可調

處理尺寸：≤4寸

內腔(qiang)尺(chi)寸  Φ147mm*145mm（直徑*深(shen)）

外形(xing)尺寸  500mm*525mm*365mm（寬*深*高）

重量  ≈38KG

真空泵  愛特VRD-4